晶硅钙钛矿叠层太阳能电池的工艺流程

晶硅钙钛矿叠层太阳能电池的工艺流程较为复杂，但简易版流程可以概括如下：

1. 制备晶硅底电池：

• 清洗与制绒：使用去离子水、丙酮和乙醇等溶剂清洗晶硅片，去除表面杂质，并进行制绒处理，增加光的吸收。

• 制备发射极与钝化层：在晶硅片的前表面制备P+发射极，背表面制备隧穿氧化硅和掺杂多晶硅，形成选择性背表面场，并进行钝化处理。

• 制备电极：在钝化层上制备金属电极，形成完整的晶硅底电池。

2. 制备钙钛矿顶电池：

• 制备电子传输层：在透明导电基底（如ITO玻璃）上制备电子传输层，如二氧化钛（TiO₂）薄膜，用于传输光生电子。

• 制备钙钛矿吸收层：将钙钛矿前驱体溶液（如甲脒氢碘酸盐、甲胺氢溴酸盐和甲胺盐酸盐的混合溶液）旋涂或喷涂在电子传输层上，经过退火处理形成钙钛矿吸收层。

• 制备空穴传输层：在钙钛矿吸收层上制备空穴传输层，如spiro-OMeTAD等有机材料，用于传输光生空穴。

• 制备电极：在空穴传输层上制备金属电极，形成完整的钙钛矿顶电池。

3. 叠层与封装：

• 叠层：使用透明粘合层将钙钛矿顶电池叠加在晶硅底电池的前表面，形成叠层结构。

• 封装：对叠层电池进行封装处理，防止水分、氧气等环境因素对电池内部结构的侵蚀，确保电池的稳定性和耐久性。

需要注意的是，实际生产过程中可能还需要进行更多的工艺步骤和质量控制措施，以确保电池的性能和可靠性。此外，不同企业和研究机构可能会根据自身的技术路线和设备条件，对上述流程进行适当调整和优化。